비버턴, 오리건, 2026년 3월 7일 -- 나노버스 테크놀로지스(Nanoverse Technologies Limited, NVT)가 새로운 어드밴스드 패키징(Advanced Packaging) 장비 라인을 출시한다고 발표했다. NVT는 최근 업계에서 가장 빠르고, 가장 진보적이며, 가장 다용도로 활용 가능한 레이저 싱귤레이션 및 계측 장비를 개발했다. 어드밴스드 패키징 제품군에는 5500, 6600, 7700, 9900 모델이 포함되며, 모든 장비는 장비 간 매칭을 위한 공통 플랫폼 아키텍처를 기반으로 설계됐다. 해당 레이저 시스템은 나노버스 테크놀로지스만의 독자적인 레이저 설계를 상용화한 장비다. 이 장비들은 진정한 계측 솔루션과 레이저 스크라이빙/다이싱 기능을 통합 제공하는 업계 유일의 시스템으로, 진정한 공정 제어를 구현하는 업계 최초의 솔루션을 제공한다. NVT의 제프 알벨로(Jeff Albelo) 최고경영자는 "이제 우리는 신속한 프로토타이핑과 대량 생산(HVM) 환경 모두에서 활용 가능한 첨단 싱귤레이션 기술과 실시간 공정 가시성을 동시에 제공한다. 이는 업계의 판도를 바꿀 게임 체인저"라고 말했다.

주력 제품인 NVT 7700은 레이저 스크라이빙과 첨단 계측 기술의 완벽한 융합을 구현한다. 해당 레이저 공정은 업계에서 가장 높은 다이 파손 강도를 제공하는 레이저 공정으로, 기존 공정 대비 2~3배 높은 성능을 달성한다. 시간당 최대 30장의 웨이퍼를 처리할 수 있으며, 3 µm 미만의 배치 정확도를 구현하며, 시스템은 300nm 미만의 GR&R을 입증한다. Model 7700은 스크라이빙, 다이싱, 계측, 코팅, 세정, 코팅 후 베이킹을 장착 및 미장착 웨이퍼 모두에 대해 독립적이면서 동시에 수행할 수 있도록 설계된 다수의 시스템 모듈을 포함하며, 혼합 로트 처리를 지원한다. 시스템 소프트웨어 아키텍처는 레시피 기반 자동화를 통해 완벽한 자동화를 구현하며 OHV 호환성을 지원한다. 레이저 스크라이빙 및 다이싱 모듈은 초고속 공정을 기반으로 실시간 출력 조정이 가능하다. 또한 이 시스템은 완전한 SEMI 규격을 준수하며 2개 또는 4개의 로드 포트 구성을 지원한다.

NVT 6600 제품군은 동일한 혁신 기술을 기반으로 하면서도 통합 계측 기능이 필요하지 않은 생산 환경과 더 작은 장비 설치 공간이 요구되는 환경을 목표로 설계됐다. NVT 6600은 주력 장비와 동일한 코팅, 세정, 베이킹, 스크라이빙 및 다이싱 기능을 유지하면서도 더 높은 처리량을 제공한다.

NVT 5500은 특허받은 위상 기반 백색광 방식을 사용하는 독립형 계측 및 검사 시스템이다. 이 기술을 통해 이미지 스티칭 없이 전체 웨이퍼 스캔을 수행하면서 동시에 2D와 3D 정보를 제공하는 고속·고해상도 계측 시스템을 구현한다. 전용 계측 시스템인 NVT 5500은 다양한 기판에서 범프, 패드, 이물, 결함을 탐지할 수 있다. 또한 NVT 기술은 비전도성 필름(NCF)을 포함해 기존 경쟁 시스템에서는 탐지하기 어려웠던 다양한 박막을 감지할 수 있다.

2026년 중반 출시 예정인 NVT 9900 플랫폼은 레이저 기반 싱귤레이션 기술의 차세대 진화를 보여주는 시스템이다. 이 장비는 다이 준비 공정의 일부로 고속, 고품질 풀컷 레이저 스크라이빙 및 다이싱을 수행할 수 있도록 듀얼 레이저 구성을 탑재한다. 두 레이저는 파장, 펄스 폭, 출력, 펄스 에너지를 각각 다르게 설정할 수 있어 고객의 요구에 맞춘 레이저 싱귤레이션 옵션을 제공한다. 플라즈마 다이싱과 함께 사용하거나 이를 대체할 수 있는 NVT 기술 플랫폼은 백엔드 공정 기술에서 중요한 발전을 의미한다. 자세한 정보는 웹사이트 www.nanovtech.com을 방문하거나 어드밴스드 패키징 로드맵 지원과 관련한 상담으로 확인할 수 있다.